PTFE硅片架是光伏、半導(dǎo)體濕法工序開放式硅片承載工裝,和封閉式PTFE硅片盒、晶圓清洗罐配套使用,彌補封閉盒體藥液滲透慢、殘液淤積的短板,替代PP、PVDF普通塑料硅片架。解決普通塑料架長期酸洗溶脹、卡槽掉屑、靜電吸灰、高溫老化變形痛點,憑借鏤空透水、全惰性、低污染特性,廣泛用于硅片切割后去損傷、制絨腐蝕、超聲清洗、純水漂洗、烘干全濕法流水線,是無塵車間批量硅片處理的核心工裝。
適配大容量槽體靜態(tài)腐蝕與循環(huán)藥液清洗。光伏硅片切割后表面存在微裂紋、硅粉殘留,需放入大型酸槽、堿槽進行批量制絨減薄。封閉式硅片盒藥液流通受阻,硅片邊角容易腐蝕不均,而鏤空硅片架藥液可360°環(huán)繞硅片,腐蝕速率均勻,避免硅片出現(xiàn)色差、絨面不均不良。獨立分立卡槽將硅片單片隔離,杜絕硅片相互貼合摩擦、邊角崩邊,適配大批量硅片同步浸泡,大幅提升產(chǎn)線處理效率。
高頻適配超聲波漂洗與熱風烘干工序。硅片制絨后表面粘附氟化物、堿鹽結(jié)晶,需要高頻超聲剝離雜質(zhì),普通塑膠硅片架長期超聲震動易卡槽松動、基體開裂,脫落塑膠微粒嵌入硅片絨面。PTFE一體銑削無拼接縫隙,抗百萬次超聲疲勞,不會形變掉屑;鏤空孔隙可快速排出漂洗廢水,熱風烘干時水汽無淤積,杜絕硅片水漬、水斑,滿足光伏電池片鍍膜前超高潔凈準入標準。
兼顧工序中轉(zhuǎn)、堆疊收納與不良片檢測存放。硅片架側(cè)邊預(yù)留提拉卡位,可直接徒手、配合無塵夾具整體提取,無需單片拿取,降低人工觸碰污染概率。防靜電屬性可避免轉(zhuǎn)運中靜電吸附微塵,不會引發(fā)硅片隱裂。超低金屬本底不會析出鈉、鐵、鋅雜質(zhì),防止硅片表面離子遷移導(dǎo)致電池漏電衰減??煞磸?fù)酸堿再生清洗,使用壽命是PVDF支架的3倍以上,適配半導(dǎo)體外延片、藍寶石薄片全品類脆性晶片濕法處理。