PTFE晶圓盒是半導(dǎo)體、光伏硅片、光學(xué)晶片濕法工藝專用承載器具，替代PP、PVDF、POM常規(guī)塑膠晶圓盒，解決普通塑膠盒耐蝕刻液差、高溫易形變、析出微顆粒、鈉離子金屬污染晶圓的行業(yè)痛點(diǎn)。依托四氟材質(zhì)極致耐腐蝕、超低本底、低釋氣、防靜電、耐高低溫的特性，廣泛用于半導(dǎo)體晶圓蝕刻、清洗、去膠、拋光、酸洗，光伏單晶硅片、藍(lán)寶石光學(xué)晶片全制程濕法處理，是無塵車間必備的晶圓周轉(zhuǎn)收納耗材。
在半導(dǎo)體濕法清洗工序中為核心承載工具。晶圓生產(chǎn)需經(jīng)過SC1、SC2標(biāo)準(zhǔn)酸堿清洗、氫氟酸去氧化層、等離子體后水洗多道工序，藥液腐蝕性極強(qiáng)。常規(guī)塑膠晶圓盒長期浸泡會(huì)溶脹開裂，析出有機(jī)微粒附著晶圓表面，造成電路短路、良率下降。PTFE晶圓盒不與任何半導(dǎo)體清洗藥液反應(yīng)，長期浸泡不形變、不溶出微粒，鏡面內(nèi)壁不會(huì)刮傷晶圓光刻膠與硅基材，杜絕晶圓表面劃痕、白點(diǎn)不良缺陷。
適配高溫烘烤與無塵周轉(zhuǎn)存儲(chǔ)工況。晶圓清洗后需120-170℃熱風(fēng)烘干除水，普通塑膠盒受熱易軟化變形、釋放揮發(fā)性雜質(zhì)，污染潔凈車間氣流。PTFE材質(zhì)熱穩(wěn)定性優(yōu)異，高溫烘烤無變形、無釋氣，滿足Class100無塵車間潔凈標(biāo)準(zhǔn)。同時(shí)材質(zhì)表面阻抗穩(wěn)定，具備防靜電屬性，避免靜電吸附粉塵、硅粉，防止超薄晶圓靜電碎裂，適配無塵車間跨設(shè)備轉(zhuǎn)運(yùn)、臨時(shí)靜置存放。
