PTFE晶圓清洗罐是半導(dǎo)體、光伏硅片、藍寶石晶片濕法清洗專用容器,替代PP、PVDF清洗槽與玻璃清洗罐,補齊常規(guī)罐體不耐光刻剝離液、超聲易開裂、析出鈉離子污染晶圓的短板。依托PTFE化學(xué)惰性、低釋氣、零吸附、抗超聲疲勞的特性,主要用于8英寸及以內(nèi)半導(dǎo)體裸晶圓、圖形化晶圓、刻蝕后晶圓的全流程濕法清洗,廣泛應(yīng)用晶圓代工、芯片封裝、光伏硅片制造、第三方半導(dǎo)體檢測無塵車間,是濕法工藝核心承載耗材。
用于晶圓氧化層去除與表面雜質(zhì)浸泡清洗。晶圓刻蝕、研磨后表面會殘留硅粉、氧化層、有機光刻膠殘屑,行業(yè)普遍采用氫氟酸、氨水、雙氧水混合洗液浸泡處理。普通塑膠罐體長期接觸強氧化性洗液會出現(xiàn)溶脹、內(nèi)壁剝落,玻璃罐體無法耐受氫氟酸腐蝕且易碎。PTFE清洗罐不與各類清洗藥液發(fā)生反應(yīng),卡槽可單片隔離晶圓,避免晶圓片與片之間相互摩擦產(chǎn)生劃痕,保障晶圓表面鏡面完整性。
適配超聲波協(xié)同清洗與高溫煮洗工況。晶圓微小納米顆粒雜質(zhì)依靠靜態(tài)浸泡無法處理,需要搭配超聲波震蕩清洗,常規(guī)塑膠罐長期超聲震動易疲勞開裂、釋放微塵。該清洗罐一體成型無拼接縫隙,抗高頻超聲震蕩,長期使用不開裂、不變形,同時可耐受150℃高溫藥液煮洗,滿足晶圓深層除膠、重金屬離子脫附需求,且不會釋放揮發(fā)性氣體污染無塵車間。