卡西亞瑪KASHIYAMA SDE1220干式螺桿真空泵：半導(dǎo)體與FPD領(lǐng)域的真空核心

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廈門太星機(jī)電有限公司 2009 年成立于廈門集美，是一家從事真空工業(yè)服務(wù)的企業(yè)。公司擁有經(jīng)驗(yàn)充足的維修團(tuán)隊(duì)，在設(shè)備維修方面積累了成熟的技術(shù)經(jīng)驗(yàn)，配備專門的維修車間、標(biāo)準(zhǔn)的維修工具與規(guī)范的作業(yè)流程，為客戶提供完善可靠的服務(wù)，以專注維修、價(jià)格合理、技術(shù)扎實(shí)，提升真空設(shè)備的使用價(jià)值。

公司主營(yíng)真空工業(yè)產(chǎn)品銷售與相關(guān)服務(wù)，憑借成熟的服務(wù)能力獲得客戶認(rèn)可，服務(wù)覆蓋眾多企業(yè)，可根據(jù)客戶需求定制高價(jià)值的真空工業(yè)解決方案。

主營(yíng)范圍
銷售真空泵、真空配件、真空泵油、耗材、真空部件；維修保養(yǎng)干泵、分子泵、旋片泵、機(jī)械泵、羅茨泵、渦旋泵、氦質(zhì)譜檢漏儀、羅茨風(fēng)機(jī)、隔膜泵、柱塞泵、水環(huán)泵、真空儀器、真空閥門等真空設(shè)備；真空系統(tǒng)的定制、優(yōu)化、改造、升級(jí)；真空系統(tǒng)檢漏服務(wù)；非標(biāo)真空工程的規(guī)劃、設(shè)計(jì)、施工、調(diào)試、培訓(xùn)服務(wù)。

進(jìn)口真空泵的銷售、維修和保養(yǎng)服務(wù)，如 Agilent 安捷倫、ALCATEL 阿爾卡特、BUSCH 普旭、Becker 貝克、Rietschle 偉力 / 里其樂(lè)、Pfeiffer 普發(fā)、Leybold 萊寶、Edwards 愛(ài)德華、ULVAC 愛(ài)發(fā)科、日本 Orion 好利旺等進(jìn)口真空泵，以及各品牌真空泵的配件銷售。

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一、核心技術(shù)參數(shù)

SDE1220專為應(yīng)對(duì)大尺寸晶圓和FPD基板的嚴(yán)苛工藝而設(shè)計(jì)，其核心性能指標(biāo)如下：

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抽速與真空度：具備高達(dá)20,000 L/min的最大抽速，極限壓力可達(dá)0.5 Pa，加速時(shí)間為35秒，能夠迅速且穩(wěn)定地建立并維持高真空環(huán)境。

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物理規(guī)格：設(shè)備重量約為340 kg，外部尺寸為寬400mm × 高780mm × 長(zhǎng)930mm，緊湊的設(shè)計(jì)便于在無(wú)塵室中安裝。

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電氣與冷卻系統(tǒng)：采用3相 AC200～220V（或380～480V）電源，電機(jī)輸出功率為3.7kW。設(shè)備需配備冷卻水系統(tǒng)，供水溫度要求在10~25℃，流量為4~8 L/min，以確保在長(zhǎng)時(shí)間高負(fù)荷運(yùn)行下的熱穩(wěn)定性。

二、產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)與應(yīng)用場(chǎng)景

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無(wú)油清潔與防腐蝕：作為干式真空泵，SDE1220在泵腔內(nèi)無(wú)需使用潤(rùn)滑油，從根本上杜絕了油蒸汽對(duì)工藝腔室的污染。同時(shí)，泵體采用了先進(jìn)的防腐材質(zhì)與涂層技術(shù)，能夠從容應(yīng)對(duì)刻蝕、化學(xué)氣相沉積（CVD）等工藝中產(chǎn)生的腐蝕性氣體。

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卓越的顆粒處理能力：其獨(dú)特的螺桿轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)能夠有效將工藝過(guò)程中產(chǎn)生的微粒和副產(chǎn)物排出泵外，大幅降低了泵體卡死的風(fēng)險(xiǎn)，從而在惡劣的工藝條件下實(shí)現(xiàn)了極高的平均故障間隔時(shí)間（MTBF）。

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低運(yùn)行成本：得益于優(yōu)化的節(jié)能結(jié)構(gòu)和高效電機(jī)，SDE1220在提供強(qiáng)勁抽力的同時(shí)，顯著降低了能耗，為客戶提供了極低的綜合運(yùn)行成本（TCO）。

三、運(yùn)維與保養(yǎng)建議

SDE1220屬于大型精密工業(yè)設(shè)備，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)復(fù)雜，對(duì)維護(hù)的專業(yè)性要求極高。

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定期保養(yǎng)：建議定期進(jìn)行預(yù)防性維護(hù)，包括檢查冷卻水流量、氮?dú)獯祾呦到y(tǒng)（需供給0.1~0.7MPa的氮?dú)猓┮约氨皿w內(nèi)部轉(zhuǎn)子的磨損情況。

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專業(yè)維修：由于該設(shè)備價(jià)值高昂且維修技術(shù)門檻高，國(guó)內(nèi)僅有少數(shù)具備10年以上經(jīng)驗(yàn)的專家或授權(quán)代理商能夠提供原廠標(biāo)準(zhǔn)的維修與配件更換服務(wù)。在發(fā)生如“螺桿卡死”等嚴(yán)重故障時(shí)，應(yīng)第一時(shí)間聯(lián)系專業(yè)廠家進(jìn)行返廠或現(xiàn)場(chǎng)維修，以保障產(chǎn)線的快速恢復(fù)。

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