二極濺射離子泵是一種利用潘寧放電原理工作的，SIP-U系列離子泵采用全金屬密封結(jié)構(gòu)，內(nèi)部無運(yùn)動部件，運(yùn)行過程中無需工作介質(zhì)，可實(shí)現(xiàn)無振動、無噪音的清潔真空環(huán)境。該系列離子泵極限真空可達(dá)5×10??Pa，氮?dú)獬樗俑采w3-2500L/s，適用于對真空潔凈度要求較高的科研、半導(dǎo)體、航天模擬等領(lǐng)域。

作為廈門真空泵供應(yīng)商，廈門太星機(jī)電有限公司提供的SIP-U系列二極濺射離子泵支持≤300℃高溫烘烤，可有效去除泵體內(nèi)壁吸附氣體，縮短系統(tǒng)抽氣時(shí)間。該泵對活性氣體抽氣能力較強(qiáng)，適用于長期維持高真空工況。

主要參數(shù)規(guī)格：

• 極限真空：5×10??Pa
• 氮?dú)獬樗伲?-2500L/s（多規(guī)格可選）
• 啟動壓強(qiáng)：≤1×10?2Pa
• 烘烤溫度：≤300℃
• 陰極材料：鈦金屬
• 泵體材質(zhì)：不銹鋼
• 法蘭接口：CF系列標(biāo)準(zhǔn)法蘭

適用場景：

• 表面分析儀器（XPS、AES、SIMS等）
• 粒子加速器與儲存環(huán)
• 航天器熱真空試驗(yàn)與空間環(huán)境模擬
• 半導(dǎo)體工藝設(shè)備
• 科研實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)

選型建議：

根據(jù)實(shí)際真空腔體容積、工作壓強(qiáng)范圍及氣體負(fù)載選擇合適抽速規(guī)格。對于以惰性氣體（氬、氦等）為主的工況，建議咨詢技術(shù)人員選擇三極型或差異型結(jié)構(gòu)。如需技術(shù)支持或服務(wù)，可聯(lián)系本公司。

安裝與使用要點(diǎn)：

• 啟動前需配合前級泵（如分子泵、擴(kuò)散泵）預(yù)抽至規(guī)定壓強(qiáng)
• 長期存放需保持真空狀態(tài)或充入干燥氮?dú)獗Ｗo(hù)
• 定期檢查高壓電源及磁鋼狀態(tài)，確保放電穩(wěn)定
• 避免頻繁在大氣狀態(tài)下暴露泵體內(nèi)部

注意事項(xiàng)：

該泵對有機(jī)蒸氣、粉塵較為敏感，不建議用于含大量可凝性氣體或顆粒物的工況。系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)配置相應(yīng)保護(hù)措施。具體選型及技術(shù)參數(shù)請以產(chǎn)品手冊或技術(shù)咨詢確認(rèn)為準(zhǔn)。

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