測(cè)量速度通常由所選擇的分光儀器（用來(lái)分開波長(zhǎng)）來(lái)決定。單色儀用來(lái)選擇單橢偏儀基本架構(gòu)一的、窄帶的波長(zhǎng)，通過(guò)移動(dòng)單色儀內(nèi)的光學(xué)設(shè)備（一般由計(jì)算機(jī)控制），單色儀可以選擇感興趣的波長(zhǎng)。這種方式波長(zhǎng)比較準(zhǔn)確，但速度比較慢，因?yàn)槊看沃荒軠y(cè)試一個(gè)波長(zhǎng)。如果單色儀放置在樣品前，有一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是明顯減少了到達(dá)樣品的入射光的量（避免了感光材料的改變）。另外一種測(cè)量的方式是同時(shí)測(cè)量整個(gè)光譜范圍，將復(fù)合光束的波長(zhǎng)展開，利用探測(cè)器陣列來(lái)檢測(cè)各個(gè)不同的波長(zhǎng)信號(hào)。在需要快速測(cè)量的時(shí)候，通常是用這種方式。傅立葉變換分光計(jì)也能同時(shí)測(cè)量整個(gè)光譜，但通常只需一個(gè)探測(cè)器，而不用陣列，這種方法在紅外光譜范圍應(yīng)用最為廣泛。

所以只要調(diào)節(jié)起偏器的方位，使入射的橢圓偏振光經(jīng)過(guò)表面或薄膜反射后重新補(bǔ)償成線偏振光，{zh1}用檢偏器基于消光的原理測(cè)定反射線偏振光的方位。根據(jù)起偏器和檢偏器的方位的讀數(shù)，便可確定橢圓參量ψ和墹。這種消光型的橢偏儀具有高的測(cè)試準(zhǔn)確度。光度式橢偏儀，一般是通過(guò)連續(xù)旋轉(zhuǎn)檢偏器(或補(bǔ)償器)，測(cè)量隨檢偏器的方位變化而變化的反射光強(qiáng)度，從而得到樣品的斯托克斯參量。另一種光度式橢偏儀是利用電光或壓電技術(shù)調(diào)制光束的偏振狀態(tài)，稱為偏振調(diào)制橢偏儀。光度式橢偏儀適于快速測(cè)量，而且有較高的重復(fù)精度，但是一般說(shuō)來(lái)，準(zhǔn)確度不如傳統(tǒng)的消光型橢偏儀。
磁光廣義橢圓偏振（Magneto-optic generalized ellipsometry, MOGE）是一先進(jìn)紅外光光譜橢圓偏振技術(shù)，用來(lái)測(cè)量在導(dǎo)體樣品中自由電荷載子之特性。藉由外在磁場(chǎng)，便有可能獨(dú)立地決定電子密度（en:Electron density）、光學(xué)之電子移動(dòng)力（EN:electron mobility）參數(shù)及自由電荷載子之有效質(zhì)量（en:effective mass）。在無(wú)磁場(chǎng)的狀態(tài)下，只可能取得其中兩項(xiàng)自由電荷載子參數(shù)。