磁感應(yīng)測量原理

當(dāng)采用磁感應(yīng)原理時，通過非鐵磁性涂層從探頭流向鐵磁基體的大小測量涂層的厚度。相應(yīng)的磁電阻的大小也可以測量，以指示涂層的厚度。薄膜厚度越大，磁電阻越大，磁通量越小?；诖鸥袘?yīng)原理的測厚儀原理上可在磁性基體上設(shè)置非磁性涂層厚度。超過500的基板滲透率的一般要求。如果涂層材料是磁性的，且要求基材的透氣性差異足夠大（如鋼板電鍍）。當(dāng)軟芯的探頭放置在被測樣品上時，儀器自動輸出測試電流或測試信號。早期的產(chǎn)品使用指針式儀表來測量感應(yīng)電動勢的大小。儀器放大信號并指示涂層的厚度。近年來，在電路設(shè)計中引入了頻率穩(wěn)定、鎖相和溫度補償?shù)刃录夹g(shù)，并利用磁電阻對測量信號進(jìn)行調(diào)制。在微機上引入了專利設(shè)計的集成電路，大大提高了測量的精度和重復(fù)性（一個數(shù)量級）?，F(xiàn)代的磁感應(yīng)測厚儀、磁力測量的測厚儀0.1um渦流原理的測厚儀的原理、誤差的誤差為1%，其范圍為10mm。

射線法和β射線法是一種非接觸、無損測量方法，但設(shè)備復(fù)雜、價格昂貴，測量范圍相對較小。由于放射源，用戶必須遵守放射防護(hù)規(guī)定。X射線法可用于測量極薄涂層、雙涂層和合金鍍層。β射線法適用于原子序數(shù)大于3的涂層測量。只有測量薄導(dǎo)體絕緣層厚度時，才采用電容法。

隨著科技的飛速發(fā)展，尤其是近幾年微機技術(shù)的引入，磁渦流法測厚儀已朝著微型化、智能化、多功能、高精度、實用化方向發(fā)展。測量分辨率達(dá)到0.1微米，精度可達(dá)1%，大大提高了分辨率。它適用范圍廣，操作簡單，成本低。是工業(yè)和科研中應(yīng)用最為廣泛的測厚儀器。

無損方法既不破壞包層，也不破壞基片。它的檢測速度快，能使大量的檢查工作經(jīng)濟(jì)化。

光學(xué)測厚儀是一種功能強大的非接觸式薄膜測量方法。當(dāng)薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)在測量系統(tǒng)的范圍內(nèi)時，系統(tǒng)可以快速方便地測量。測量薄膜厚度時，對光譜反射有幾種常見的誤解。例如：

1、它只能測量薄膜的厚度，需要預(yù)先知道光學(xué)常數(shù)（折射率和消光系數(shù)）。

2、與橢偏儀相比，其精度較低；

3、只能同時測量一到兩個厚度。這些誤解反映了光譜反射儀沒有得到充分利用的事實。其使用方法和數(shù)據(jù)分析有待進(jìn)一步深化。光譜反射和橢偏儀間接測量的方法，我們需要建立一個模型，通過調(diào)整參數(shù)（厚度和光學(xué)常數(shù)），使模型與實測反射率曲線達(dá)到配合，以薄膜厚度的反演計算和廣雪場數(shù)。橢圓偏振法考慮了光的偏振性，利用P波與s偏振光反射光的相位差。然而，光譜反射鏡不使用相位差。薄膜對相位差具有很高的靈敏度，但相位差的靈敏度隨薄膜厚度的增加而減小。