PTFE清洗槽是半導(dǎo)體、光伏行業(yè)及精密檢測實驗室核心濕法處理設(shè)備,主要替代傳統(tǒng)PP、PVDF、不銹鋼清洗槽,解決普通槽體不耐氫氟酸、高溫易變形、長期酸洗溶脹掉屑、析出雜質(zhì)污染樣品的問題??膳cPTFE硅片架、濾籃、晶圓清洗罐成套搭配使用,專為高潔凈、強腐蝕的前處理工況設(shè)計,廣泛用于晶圓、硅片、光學(xué)晶片、精密實驗耗材的酸洗純化、酸堿浸泡、多級純水漂洗,是痕量檢測與無塵制程的必備工裝。
用于各類強腐蝕藥液的批量浸泡與酸洗純化作業(yè)。在地質(zhì)檢測、環(huán)境實驗、半導(dǎo)體制程中,實驗器皿、硅片晶圓、精密配件需經(jīng)過混酸浸泡去除表面金屬殘留與雜質(zhì)。普通塑料槽無法耐受高濃度氫氟酸、高溫酸堿藥液長期侵蝕,容易出現(xiàn)內(nèi)壁粉化、開裂滲漏,雜質(zhì)脫落造成樣品二次污染。PTFE清洗槽化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,全程不參與藥液反應(yīng),槽體不腐蝕、不溶出,有效保障酸洗純化過程穩(wěn)定,杜絕工件污染。
適配超聲波清洗與高溫恒溫浸泡工況。很多精密工件表面的納米級粉塵、硅粉、藥液結(jié)晶,需要依靠超聲波震蕩配合藥液清洗去除。本品一體無縫焊接結(jié)構(gòu),抗超聲震動、耐疲勞,長期高頻震蕩不會開裂、滲水,優(yōu)于普通粘接工藝槽體。同時可耐受高溫藥液持續(xù)浸泡,熱穩(wěn)定性極強,不會因溫度變化產(chǎn)生形變與揮發(fā)性雜質(zhì),滿足精密工件深度清潔、除膠、去氧化層的工藝要求。