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NanoXSpot微焦點(diǎn)測(cè)試儀,NanoXSpot焦點(diǎn)測(cè)試儀
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深圳眾??悼萍加邢薰臼且患覍I(yè)從事醫(yī)療檢測(cè)儀器、儀表、模體銷售和訂制的專業(yè)公司,公司可為科研、教育、航空、制造業(yè)等領(lǐng)域提供完整可靠的解決方案。  目前本公司的產(chǎn)品應(yīng)用于各醫(yī)療制造生產(chǎn)企業(yè)、科研院所、大專院校、質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局、疾病預(yù)防控制中心、衛(wèi)生監(jiān)督所、出入境檢驗(yàn)檢疫、醫(yī)學(xué)院及各附屬醫(yī)院等領(lǐng)域。

NanoXSpot微焦點(diǎn)測(cè)試儀,NanoXSpot焦點(diǎn)測(cè)試儀用于對(duì)光斑尺寸 <100 μm 的 X 射線管進(jìn)行質(zhì)量保證,根據(jù) prEN 12453-6、prEN 12453-7 評(píng)估焦點(diǎn)尺寸 <100 μm 和光斑形狀

歐洲計(jì)量創(chuàng)新與研究計(jì)劃項(xiàng)目開發(fā)了新的 NanoXSpot (NxS) 測(cè)量?jī)x,具有線組、西門子星形和孔圖,用于測(cè)量小至 100 納米的聚焦光斑

計(jì)算機(jī)斷層掃描 (CT)可以根據(jù)從物體周圍不同角度拍攝的一系列 X 射線圖像重建物體的體積數(shù)據(jù)集,這項(xiàng)技術(shù)被廣泛用于醫(yī)學(xué)中的患者診斷。此外,它還被用于航空航天和電子等行業(yè)的無(wú)損檢測(cè)、缺陷與內(nèi)部結(jié)構(gòu)的評(píng)估以及產(chǎn)品尺寸的驗(yàn)證。這些行業(yè)對(duì)檢測(cè)分辨力的要求小至納米級(jí)。
隨著電子設(shè)備的小型化變得越來(lái)越普遍,以及隨著新技術(shù)(如電動(dòng)汽車)的出現(xiàn)和航空工業(yè)中輕質(zhì)化合物的使用,對(duì) 5微米或更小分辨力(大約人類頭發(fā)絲寬度的 1/10)的 CT 測(cè)量的需求日益增加。X 射線管的光斑尺寸直接影響到測(cè)量分辨力。但是,對(duì)于5微米以下的 X 射線管光斑尺寸,沒有國(guó)際公認(rèn)的標(biāo)準(zhǔn)或測(cè)量方法。X 射線設(shè)備制造商采用自有的測(cè)量方法導(dǎo)致了不一致的結(jié)果。因此,研究人員正在開發(fā)基于可溯源表征的測(cè)量?jī)x來(lái)確定光斑大小、形狀和位置的新方法,并將作為這些光斑測(cè)量的國(guó)際公認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)引入。
歐洲計(jì)量創(chuàng)新與研究計(jì)劃(EMPIR)項(xiàng)目《對(duì)光斑小至100納米的 X 射線管焦斑尺寸的測(cè)量 (NanoXSpot,18NRM07)》正在開發(fā)新的標(biāo)準(zhǔn)實(shí)踐,以比目前更高的準(zhǔn)確度水平表征 X 射線焦斑。
 

X 射線管的質(zhì)量保證 – 光斑尺寸和形狀
一段時(shí)間后,可能會(huì)觀察到 X 射線管(尤其是納米和微焦管)目標(biāo)的燒毀使用量,這可能導(dǎo)致光斑尺寸增加。一些管制造商允許管目標(biāo)旋轉(zhuǎn)。這允許改變目標(biāo)上的焦點(diǎn)位置并提供不失真的焦點(diǎn)尺寸


NanoXSpot 測(cè)量?jī)x (NxS)

? 全新測(cè)量?jī)x設(shè)計(jì) NxS-1020 最終確定:

? 使用新開發(fā)的算法進(jìn)行焦點(diǎn)測(cè)量和特性分析

? 全新焦點(diǎn) CT 重建算法

? 樣品支架設(shè)計(jì)便于測(cè)量?jī)x使用

? NxS 測(cè)量?jī)x上的圖案組(4 個(gè)象限):

? 不同方向的線組圖案結(jié)構(gòu),特征尺寸為 3-12 μm(Q1)

? 會(huì)聚線組圖案(Q2 和 Q3)(類似于西門子星)

? 直徑為 5 μm 至 1 mm 的孔圖案(Q4)





重新設(shè)計(jì)的 NxS-1022b 儀表

? 樣品架設(shè)計(jì)便于使用儀表

? NxS 儀表上的圖案組(4 個(gè)象限):

? 不同方向的線組圖案結(jié)構(gòu),特征尺寸為 4-20 μm(Q1)

? 不同方向的線組圖案結(jié)構(gòu),特征尺寸為 63 μm(Q2)

? 直徑為 5 μm 至 1000 μm 的孔圖案(Q3)

? 不同方向的線組圖案結(jié)構(gòu),特征尺寸為 25-50 μm(Q4)


NanoXSpot微焦點(diǎn)測(cè)試儀,NanoXSpot焦點(diǎn)測(cè)試儀規(guī)格:

外形尺寸:10 mm x 10 mm 芯片尺寸(帶藍(lán)寶石玻璃蓋的支架:40 毫米 x 30 毫米 x 5 毫米)

材料

襯底:200 μm 厚硅

吸收器:8 μm 高的金
線寬/間距:公差:+/- 15%
圖形線寬 [μm]:4 個(gè)象限,每個(gè)象限 4 mm x 4 mm;2 個(gè)經(jīng)過(guò)改進(jìn)的西門子星形,具有圓孔和 5 條平行金線,線寬和間距分別為 12 μm、10 μm、8 μm、6 μm、5 μm、4 μm 和 3 μm。最小線寬:3 μm。最小孔徑:5 μm
 

 



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鄭重聲明:產(chǎn)品 【NanoXSpot微焦點(diǎn)測(cè)試儀,NanoXSpot焦點(diǎn)測(cè)試儀】由 深圳眾裕康科技有限公司 發(fā)布,版權(quán)歸原作者及其所在單位,其原創(chuàng)性以及文中陳述文字和內(nèi)容未經(jīng)(企業(yè)庫(kù)m.qnon.net)證實(shí),請(qǐng)讀者僅作參考,并請(qǐng)自行核實(shí)相關(guān)內(nèi)容。若本文有侵犯到您的版權(quán), 請(qǐng)你提供相關(guān)證明及申請(qǐng)并與我們聯(lián)系(qiyeku # qq.com)或【在線投訴】,我們審核后將會(huì)盡快處理。
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