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桌面高溫蒸鍍儀,
分別用鎢坩堝和玻璃碳涂層坩堝蒸鍍金膜,采用EDS分析金膜表面黑色顆粒的主要成分.對比金膜表面黑色顆粒分布的密度;根據(jù)兩種坩堝蒸金膜時的物理學(xué)特征不同,研究黑色顆粒產(chǎn)生的機理,解釋碳玻璃涂層坩堝蒸金黑色顆粒較多的原因;并利用玻璃碳坩堝采取不同的工藝條件進(jìn)行對比試驗,成功減少了金膜表面的黑色顆粒,為教學(xué)實驗、真空鍍膜工藝和集成電路生產(chǎn)領(lǐng)域蒸鍍高質(zhì)量的金膜提供幫助.
原樣品沒有鍍膜
115A 100秒 機械泵
115A 100秒 分子泵抽12分鐘
115A 120秒 分子泵抽20分鐘
真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色
桌面高溫蒸鍍儀KT-Z1650CVD
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控制方式 |
7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 |
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加熱方式 |
數(shù)字式功率調(diào)整器 |
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鍍膜功能 |
0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
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功率 |
≤1200W |
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輸出電壓電流 |
電壓≤12V 電流≤120A |
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真空度 |
機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤10^-3Pa |
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擋板類型 |
電控 |
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真空腔室 |
石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm |
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樣品臺 |
可旋轉(zhuǎn)φ62 (可安裝φ50基底) |
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樣品臺轉(zhuǎn)速 |
8轉(zhuǎn)/分鐘 |
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樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離 |
70-140mm |
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蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié) |
≤1800℃ |
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支持蒸發(fā)坩堝類型 |
鎢絲藍(lán) 帶坩堝鎢絲藍(lán) 鎢舟 碳繩 |
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預(yù)留真空接口 |
KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |
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可選配擴展 |
機械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa) 數(shù)顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa) 分子泵機組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa) |