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鄭科探KT-PE150S 實驗薄膜儀 PECVD模塊 等離子體增強化學(xué)氣相沉積 相關(guān)信息由 鄭州科創(chuàng)實驗儀器設(shè)備有限公司提供。如需了解更詳細(xì)的 鄭科探KT-PE150S 實驗薄膜儀 PECVD模塊 等離子體增強化學(xué)氣相沉積 的信息，請點擊 http://m.qnon.net/b2b/zztk001.html 查看 鄭州科創(chuàng)實驗儀器設(shè)備有限公司 的詳細(xì)聯(lián)系方式。
PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)。通過反應(yīng)氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征，從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點，工藝流程簡單，與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較，生長溫度更低，管輝光均勻等效，薄膜均勻沉積。
KT-PE150S 性能參數(shù)
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型號 |
KT-PE150S |
KT-PE500Z |
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信號頻率 |
13.56MHz±0.005% |
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功率輸出范圍 |
0-150W |
0-500W |
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功率穩(wěn)定度 |
≤5W |
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反射功率 |
40W |
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射頻輸出接口 |
7/16,female 50 Ω |
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功率穩(wěn)定度 |
≤5W |
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匹配方式 |
手動調(diào)節(jié)匹配 |
500W自動匹配 |
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耦合方式 |
電感式耦合 |
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輝光壓力 |
≤30Pa |
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供電電壓 |
50/60Hz 220v±10% |
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整機效率 |
≥70% |
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冷卻方式 |
強制風(fēng)冷 |
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支持爐管直徑 |
φ25-φ80 |
φ25-φ150 |
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感應(yīng)區(qū) |
210mm |
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整機重量 |
48KG |
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整機尺寸:H x W x D(mm) |
600 x 600x 1100 |
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