如何正確運用激光干涉儀

1、負坡度

  負坡度曲線向外運行和向內(nèi)運行兩個測試均出現(xiàn)向下的坡度。在整個軸線長度上，誤差呈線性負增加，這表示激光系統(tǒng)測量的距離短于機床位置反饋系統(tǒng)指示的距離。出現(xiàn)負坡度的可能原因有以下兩種：(1)光束準直調(diào)整不正確。如果軸線短于1m則可能是材料熱膨脹補償系數(shù)不正確、材料溫度測量不正確或者波長補償不正確。(2)俯仰和扭擺造成阿貝偏置誤差、機床線性誤差。

2、正坡度

  正坡度曲線是指在整個軸線長度上，誤差呈線性正遞增。這種現(xiàn)象的產(chǎn)生有以下可能：(1)材料熱膨脹補償系數(shù)不正確、材料溫度測量不正確或者波長補償不正確。(2)俯仰和扭擺造成阿貝偏置誤差、機床的線性誤差。

3、周期性曲線

  周期性曲線是整個軸線長度上的重復(fù)周期誤差。沿軸的俯仰保持不變，但幅度可能變化。導(dǎo)致周期性曲線的可能原因主要是機床方面的問題，如絲杠或傳動系統(tǒng)故障、編碼器問題或故障、長型門式機床軌道的軸線直線度。

4、偏移

  偏移是指去程和回程兩次測試之間具有不變的垂直偏移。產(chǎn)生偏移曲線的可能原因主要是機床方面的問題，如反向間隙未補償或不當(dāng)補償、車架與導(dǎo)軌之間存在間隙(松動)等。

5、燕尾狀

  在去程測試中出現(xiàn)向下的坡度的情況，回程測試為去程測試的鏡像，去程和回程測試之間的偏差(或滯后或反向間隙)隨軸線離開受驅(qū)動端而逐漸提高。產(chǎn)生燕尾狀的可能原因主要是機床方面的問題，如滾珠絲杠扭轉(zhuǎn)、導(dǎo)軌太緊、使用的誤差補償值不正確等。

6、正反向交叉線

  正反向交叉線是指正向(向外)運行產(chǎn)生負坡度，而反向(向內(nèi))運行則產(chǎn)生正坡度。這是絲杠扭轉(zhuǎn)的一個特殊例子，其中，單向線性誤差補償和單反向值已在控制器中設(shè)置。

激光干涉儀在振動計量中的應(yīng)用

激光測振及其常用方法

  一般振動測試大致可以分為兩類。一類是測量設(shè)備和結(jié)構(gòu)所存在的振動；另一類則是對設(shè)備或結(jié)構(gòu)施加某種激勵，對其產(chǎn)生的振動進行測量。此類測振的目的是研究設(shè)備或結(jié)構(gòu)的力學(xué)動態(tài)特性，然后根據(jù)對所測得的振動信號進行求和、平均、積分、微分等處理，計算出被測點的位移或速度、加速度和振動頻率；或者對所測得的振動信號在時域、頻域內(nèi)作進一步地分析和處理，如譜分析、相關(guān)分析等，進而確定被測對象的固有頻率、阻尼比、剛度、振型等振動參數(shù)，確定被測對象的頻率響應(yīng)特性。激光測量這種非接觸測量由于其良好的精準性和實時性，已經(jīng)成為測量領(lǐng)域的熱點。同時由于電子學(xué)和光學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展，光電檢測已經(jīng)成為非接觸測量的一種主要方式。

激光干涉法

  利用激光的干涉特性，以激光的波長等參數(shù)為基礎(chǔ)，對元件的振動進行測量的方法叫激光干涉測振法。在振動沖擊計量測試中，我們經(jīng)常碰到量值溯源的問題，在量值溯源與傳遞系統(tǒng)鏈表里，振動沖擊計量基準可以溯源到基本量———長度和時間。振動和沖擊校準設(shè)備采用這種量值復(fù)現(xiàn)方式進行傳感器的校準時，稱其為“絕1對校準”。激光干涉儀是不可缺少的部分，其輸出的多普勒信號把已知的激光波長和振動的位移量對應(yīng)起來，是一種絕1對的測量方法。目前在振動和沖擊專業(yè)中大量借助于激光干涉技術(shù)實現(xiàn)量值的復(fù)現(xiàn)，其具體實現(xiàn)就是采用激光干涉儀。

     激光干涉測量方法作為一種重要的非接觸式無損探測方法，日益得到廣泛的應(yīng)用。然而該測量系統(tǒng)多采用各種分立的玻璃光學(xué)元件構(gòu)成光路，不僅結(jié)構(gòu)復(fù)雜，而且對光學(xué)元件的安裝、調(diào)試都有極苛刻的機械精度要求，靈活性、重復(fù)性較差，尤其是對探測系統(tǒng)位置的設(shè)置在許多重要場合的應(yīng)用受到了限制。光纖傳感技術(shù)是近幾十年來迅速發(fā)展起來的一門新型科學(xué)。與傳統(tǒng)的各類傳感器相比，光纖傳感器具有一系列獨特的優(yōu)點，靈敏度高、抗電磁干擾、耐腐蝕、耐高壓、防爆阻燃、光路可繞曲性好、幾何形狀具有多方面適應(yīng)性等，使其成為在諸多環(huán)境下的有效測量手段。

激光干涉儀的使用方法：

1、開機：接通電源打開電源開關(guān)，1分鐘后開始檢測。（因為剛開機激光器不穩(wěn)定）

2、光路調(diào)整：旋上適合的標準鏡頭使標準鏡頭的星點對準尋星窗口中間的黑點，顯示器上顯示完整的圓形圖像。

 顯示器圓形圖像

3、透鏡面形檢測：調(diào)節(jié)沉座到被檢透鏡的適合尺寸，（建議大批量固定透鏡的檢測，自己加工固定的沉座）放上透鏡調(diào)節(jié)高度和透鏡調(diào)節(jié)鈕使透鏡的星點與標準鏡頭的星點重合，觀測顯示器是否出現(xiàn)干涉條紋，條紋越少精度越高。干涉圖像與對準系統(tǒng)同步，無需切換，任何人都能簡單操作。高度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)選擇加長的測試軌道來配合測量尺寸，可簡便的測量出曲率半徑。

4、透鏡曲率半徑檢測：開啟標尺電源開關(guān)（清零），調(diào)整圖像到看清直線干涉條紋(3條到5條），凸透鏡向上調(diào)節(jié)高度（凹透鏡向下調(diào)節(jié)高度）到第2個星點出現(xiàn)的時候調(diào)節(jié)標準鏡頭調(diào)節(jié)旋鈕，使圖像出現(xiàn)貓眼像，標尺移動的數(shù)值就為被測透鏡的曲率半徑。