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ps：產(chǎn)品配置均可根據(jù)客戶需求，進(jìn)行定制...
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6" 高端型探針臺
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特點(diǎn) |
類型 |
規(guī)格 |
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* 適用于6英寸以內(nèi)的各種半導(dǎo)體器件的高精度測試 |
顯微鏡控制 |
在探針臺本體的功能設(shè)計(jì)上增加了顯微鏡的氣動(dòng)升降或者顯微鏡傾仰裝置，使在測試過程中更換物鏡和樣品更為方便，避免了會有碰傷樣品和鏡頭的問題 |
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顯微鏡X-Y軸行程：2" x2" |
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顯微鏡放大倍率：20X~2000X （倍率可選） |
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chuck（卡盤） |
尺寸：6英寸，圓形（方形可選） |
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材質(zhì)：不銹鋼（可升級鍍金） |
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旋轉(zhuǎn)角度：0-360°可帶角度鎖定，精度0.1° |
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X-Y移動(dòng)行程：6" x6"，移動(dòng)精度：5um（可升級為1um精度） |
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Z軸升降行程：5mm，卡盤快速升降，方便更換樣品，不會碰觸到其他已調(diào)試好器件 |
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吸附孔：中心孔徑最小可做到250微米，最小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，{zd0}能夠吸住尺寸為6"X6" |
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整體規(guī)格 |
尺寸：850mm長 x 680mm寬 x 720mm高 (帶顯微鏡) |
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重量： 100 Kg(帶顯微鏡) |
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U型大平臺，可放置8個(gè)探針座 |
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平整度：5um，使針座吸附更牢固（可定制針座固定在平面上） |
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附件可選： 激光切割、探針卡夾具、高低溫樣品臺、防震桌、CCD視頻系統(tǒng)、屏蔽箱、顯微鏡暗場 / DIC/Normarski 檢測 |
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