型號(hào)：URE-2000/35

簡(jiǎn)單介紹：光刻機(jī)：(英文名：Mask ALIGENER)又名曝光機(jī), 該型號(hào)光刻機(jī)創(chuàng)新采用三柔性支點(diǎn)實(shí)現(xiàn)高精度自動(dòng)調(diào)平；真空接觸自動(dòng)曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制；采用專利技術(shù)積木錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明；可連續(xù)設(shè)定分離間隙；采用雙目雙視場(chǎng)顯微鏡實(shí)現(xiàn)高對(duì)準(zhǔn)精度。整機(jī)具有性能可靠、操作方便、自動(dòng)化程度高等特點(diǎn)。

一．技術(shù)特征——非常適合工廠（效率高，操作傻瓜型，自動(dòng)型）

和高校教學(xué)科研（可靠性好，演示方便）
采用專利技術(shù)——積木錯(cuò)位蠅眼透鏡平滑衍射效應(yīng)和實(shí)現(xiàn)均勻照明；
1、采用三爪和球氣浮同時(shí)找平，無(wú)論大片、小片調(diào)平精度均高；   
2、具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能；     
3、自動(dòng)分離對(duì)準(zhǔn)間隙和消除曝光間隙，間隙分離可達(dá)500μm；   
4、高倍率雙目雙視場(chǎng)顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時(shí)觀察對(duì)準(zhǔn)過(guò)程，

并提供USB輸出；既滿足高精度對(duì)準(zhǔn)，又可用于檢測(cè)曝光結(jié)果，且曝光結(jié)果和

方便存儲(chǔ)；  
5、電機(jī)機(jī)構(gòu)、彈性元件和傳感器保證接觸曝光壓力合適且重復(fù)性好；    
7、曝光波長(zhǎng)采用純凈365nm,冷光照明（曝光面能量15mW/cm ，溫度小于30度）；      
8、對(duì)準(zhǔn)完成，自動(dòng)消除曝光間隙，無(wú)橫向漂移且可通過(guò)監(jiān)視器觀察； 
9、快門(mén)可以單獨(dú)開(kāi)啟，也可以數(shù)字設(shè)定自動(dòng)djs曝光（設(shè)定范圍0.1s-9999.9s）；     
10、采用350W進(jìn)口（德國(guó)）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度；   
11、汞燈具有高亮度和“待機(jī)”兩種方式，即曝光時(shí)采用高亮度照明，而不曝光

時(shí)采用低亮度的“待機(jī)”，從而延長(zhǎng)了汞燈壽命。      
12、設(shè)備外形美觀精制，性能非?？煽浚?span>
13、上下片、版十分方便，自動(dòng)化程度很高，操作簡(jiǎn)便。

二．技術(shù)參數(shù)  
1、曝光面積：100mm×100mm（可升級(jí)6英寸） 
2、分辨力：0.8-1μm（膠厚2mm的正膠）     
3、對(duì)準(zhǔn)精度：：±0.8μm
4、掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：6mm;Y:6mm
5、掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸
6、樣片尺寸直徑Ф15mm--Ф100mm(可適應(yīng)非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片)   
7、厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)
8、照明均勻性：±3-4%（Ф100mm范圍）
9、掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：  X:±5mm;  Y:±5mm; θ: ±6度
10、汞燈功率：350W（直流） 
11、曝光波長(zhǎng)：365nm（進(jìn)口汞燈）
12、曝光能量密度：15mW/cm 可以根據(jù)需要增強(qiáng)或調(diào)弱(420nm以上波長(zhǎng)小于0.1mW/cm )
13、曝光方式：定時(shí)（到計(jì)時(shí)方式0.1s—9999.9s）