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六氟化硫(SF6) 別稱滅弧氣體,UN:1080,CAS NO:2551-62-4,連接閥門:QF-2,QF-13A,DISS716。50kg/瓶
本品無色,無味,不燃燒,無電抗性,相對無毒,僅有窒息性的液化氣體。液化瓶裝氣體,壓力為其蒸氣壓(202.78kgf/cm2@21.1攝氏度)。SF6以其良好的絕緣性能和滅弧性能,被廣泛的應(yīng)用于電器工業(yè),在半導(dǎo)體制造中的蝕刻。
純度有 4n(99.99%)5n(99.999%)