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超{gx}過濾器:
n 材質(zhì)說明:
2 制作類型:無隔板超{gx}過濾器、有隔板超{gx}過濾器、組合式大風(fēng)量超過{gx}過濾器、耐高溫超{gx}過濾器等;
2 濾 料:U15-U17美國HV玻纖濾紙;
2 過濾效率:U15-U17,U15:99.9995%@0.12μm、U16:99.99995%@0.12μm、U17:99.999995%@0.12μm(MPPS);
2 框 材:鋁型材框、鋁板折框、鍍鋅框、不銹鋼框;
2 護(hù)網(wǎng)材質(zhì):噴塑菱形網(wǎng);
2 密封膠條:EVA、氯丁橡膠;
2 過濾尺寸:依據(jù)客戶實(shí)際要求制定,鋁型材參考厚度:46mm、50mm、69mm、80mm、90mm、96mm(MMPS);
n 適用場合:
適用于超LSI制造工廠、半導(dǎo)體制造工廠、原子力研究中心、無塵室、層流設(shè)備、工作臺等其他要求超高潔凈度的場合。
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型號 |
箱體外形尺寸 (W×H×D) (mm) |
額定風(fēng)量 (m3/h) |
過濾面積(m2) |
容塵量 (g) |
初阻力 (Pa) |
終阻力 (Pa) |
過濾效率0.12μm |
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KYAIR-MHF-001 |
484×484×50 |
350 |
4.28 |
250 |
≤150 |
400 |
U15-U17 |
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KYAIR-MHF-002 |
610×610×50 |
600 |
6.84 |
410 |
≤150 |
400 |
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|
KYAIR-MHF-003 |
915×610×50 |
900 |
10.29 |
600 |
≤150 |
400 |
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|
KYAIR-MHF-004 |
1220×610×50 |
1200 |
13.74 |
800 |
≤150 |
400 |
|
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KYAIR-MHF-005 |
484×484×69 |
600 |
6.58 |
400 |
≤150 |
400 |
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|
KYAIR-MHF-006 |
610×610×69 |
1000 |
10.48 |
600 |
≤150 |
400 |
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KYAIR-MHF-007 |
915×610×69 |
1400 |
15.78 |
950 |
≤150 |
400 |
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KYAIR-MHF-008 |
1220×610×69 |
1800 |
21.08 |
1250 |
≤150 |
400 |
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KYAIR-MHF-009 |
610×610×96 |
1600 |
17.88 |
1050 |
≤150 |
400 |
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|
KYAIR-MHF-010 |
915×610×96 |
2400 |
26.99 |
1600 |
≤150 |
400 |
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KYAIR-MHF-011 |
1220×610×96 |
3200 |
36.12 |
2100 |
≤150 |
400 |