青島福盟微電子半導(dǎo)體行業(yè)真空爐-高性能F

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從結(jié)構(gòu)上分為臥式、立式、箱式，從真空度上分為低真空、高真空，從使用溫度上分為低溫、高溫，從真空室材料上分為石英管、耐熱不銹鋼管，從真空獲得上分機(jī)械泵、機(jī)械泵＋擴(kuò)散泵、機(jī)械泵＋分子泵。設(shè)備用途：廣泛用于電力電子器件、玻封二級(jí)管、氣體放電管、磁性材料、熱敏電阻等器件的真空燒結(jié)、封裝、焊接、合金、退火等工藝。主要技術(shù)指標(biāo)： ★工位：單、雙、三工位 ★工作溫度： 300～1100℃（不銹鋼真空室{zg}1000℃） ★真空度：優(yōu)于5×10-3 Pa ★真空室直徑：Φ150～300 mm ★恒溫區(qū)長度：400～1000 mm ★控制精度： ±1.0～3.0℃ ★爐體移動(dòng)速度：0～400 mm/min ★{zd0}充氣壓力：0.5 MPa （不銹鋼真空室） ★加熱功率： 10～80 KVA ★控制系統(tǒng)：進(jìn)口儀表＋PLC＋觸摸屏 ★安全連鎖保護(hù)：超溫、斷偶、缺水、壓力異常保護(hù)報(bào)警

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